1944年，这个词似乎是由波兰裔美国法学家拉斐尔·伦基（Raphael Lemkin，1900-1959）在其著作《被占领欧洲的轴心国统治》中创造的，主要是指纳粹对犹太人的灭绝，字面意思是“杀死一个部落”。这个词源于希腊语 genos，意为“种族、类别”，其词根来自原始印欧语 *gene-，意指“生育、繁殖”，衍生词通常与生育以及家庭和部落群体相关。再加上 -cide，意为“杀戮”。因此，严格来说，这个词的构成应该是 *genticide。
Generally speaking, genocide does not necessarily mean the immediate destruction of a nation, except when accomplished by mass killings of all members of a nation. It is intended rather to signify a coordinated plan of different actions aimed at the destruction of essential foundations of the life of national groups, with the aim of annihilating the groups themselves. [Lemkin]
一般来说，种族灭绝并不一定意味着一个国家的即时毁灭，除非通过对该国所有成员的大规模杀戮来实现。它更倾向于指代一种协调一致的计划，这种计划通过不同的行动，旨在摧毁国家群体生存的基本基础，最终目的是消灭这些群体本身。[伦基]
在此之前，类似的词汇还有 populicide（1799年），源自法语 populicide，最早出现在1792年的法国大革命中。这个词后来被引入德语，比如 Völkermeuchelnden（“种族谋杀的”），海涅（Heine）曾使用过。这个词在英语中则是在1893年被翻译为 folk-murdering（“民众谋杀”）。而 ethnocide 这个词在英语中的使用则可以追溯到1974年（法语中早在1970年就已出现）。
