“自我运作，自动移动或行动”，这个词最早出现在1812年（automatical 早在1580年代就有；automatous 则出现在1640年代）。它源自希腊语 automatos，最初形容人的行为是“出于自愿”，而对于物体则指“自我移动，自我运作”。在古希腊神话中，这个词常用来形容奥林匹斯山的门和赫淮斯托斯的三脚架（有时也指“没有明显原因，偶然发生”）。其构成来自 autos（意为“自己”，参见 auto-）和 matos（意为“思考的，活跃的”，源自原始印欧语词根 *men- (1)，意为“思考”）。
关于动物或人类的非自愿行为，这个词在1748年被首次使用，最早由英国医生和哲学家大卫·哈特利提出。在1850年，它被用来专指“由自动机械完成的动作”。至于指代某种类型的火器，则是在1877年；而特指那些模仿人类指挥动作的机械，则始于1940年。
