1869年在从德语翻译康德的solipsismus（意为“自我主义”）时出现，该词源自拉丁语solus（意为“孤独”）（参见sole (adj.)）+ ipse（意为“自我”）。该词在1817年以德语（拉丁语）形式在英语中有记录，德昆西在1827年于康德的注释中使用了它，但似乎在英语中未以该形式被广泛接受。
其现代用法，“自我是真实知识的唯一对象或唯一真实存在的事物的观点或理论”[OED]似乎可以追溯到1874年，并在乌厄尔维格的《哲学史》的通俗翻译中使用，指的是肖朋哈uer推理的含义（间接地也指伯克利的）：
In reality there was great need, not of a proof that so-called "theoretical egoism" or "Solipsism" (the assumption by any one man that he alone exists) is a piece of lunacy, but of a proof that Schopenhauer's doctrine of the subjective nature of all categories, and his denial of their applicability to "things-in-themselves" do not logically lead to this absurd doctrine.
实际上，迫切需要的不是证明所谓的“理论自我主义”或“唯我论”（任何人认为只有他自己存在）是一种疯狂的证明，而是证明肖朋哈uer关于所有范畴主观性质的学说，以及他对“物自身”适用性的否定并不逻辑上导致这一荒谬学说。
“将自我与绝对同一化通常不是目的，而是否认真的存在其他人。这一学说似乎只是形而上学家在推理中设立的稻草人。”[Century Dictionary]。更早的形式是soliipsiism（1826年）。
