这个词源于希腊语，作为构词元素，主要有以下几种含义：1. “在……之后；在……之中；在……之间”，2. “改变的；变更的”，3. “更高的；超越的”。它来自希腊语的 meta（介词），意思是“在……之中；与……共同；通过……手段；在……之间；追求……；在……之后，紧接着”。在复合词中，它最常表示“位置、状态等的变化”。这个词源于原始印欧语的 *me-，意为“在中间”，与德语的 mit、哥特语的 miþ、古英语的 mið（均意为“与……一起；在……之中”）同源。
“互换位置”的概念可能促成了“位置、顺序或性质的变化”这一主要含义。这也是希腊语中作为前缀时的主要用法，尽管它也可以表示“共同体；参与；共同追求”。
现代意义上的第三种用法，即“高于；超越；涵盖；处理最基本问题的”，源于对 metaphysics（形而上学）的误解，认为它是“研究超越物质的科学”。这一误解导致了现代用法的广泛扩展，meta- 被附加到其他科学和学科的名称中，尤其是在文学批评的学术术语中。例如：Metalanguage（1936年）指“分析‘对象语言’的术语语言”；metalinguistics（1949年之前）；metahistory（1957年），metacommunication（元交流）等。
